真空热处理是应用面很广的无氧化热处理技术，也是当前热处理技术先进程度的主要标志之一。真空热处理不仅可实现钢件的无氧化、无脱碳，还可以实现生产的无污染和工件的少畸变，因而还属于清洁和精密生产技术范畴。 工件畸变小是真空热处理的一个非常重要的优点，据国内外经验，工件真空热处理的畸变量仅为盐浴加热淬火的三分之一。
现代真空热处理炉是指可施行元件的真空加热，然后在油中淬火或在常压和加压气体中淬火的冷壁式炉子。研究开发真空热处理设备是一项综合性强、跨学科、牵涉到很多科技领域的工作。近几年，国际上有研究开发使用气体燃料的燃烧式真空炉的动向。在真空炉中采用气体燃料加热的困难太多，虽然有节约能源的说法，但不一定是一个重要的发展方向。
工模具材料的真空热处理的应用前景很大。大多数工模具钢目前都采取在真空中加热，然后在气体中冷却淬火的方式。为了使工件表面和内部都获得满意的力学性能，必须采用真空高压气淬技术。
目前国际上真空气淬的气压已从0.2MPa、0.6MPa提高到1～2MPa甚至3MPa。高压气淬真空炉的冷却气体压力的逐步提高是一个重要的发展趋势。除高压气淬外，在先抽真空而后填充高压惰性气体后施行对流加热可以比传统真空辐射加热速度提高一倍以上，从而明显提高加热效率也是真空加热技术的重要方向之一。向多功能发展也是真空炉的趋势之一。
